无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、---等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端,空气过滤的安装方式应简便---,宜检漏和更换;中效、亚、空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
从---洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,pcr实验室设计施工厂家,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此,选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。
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